編號	物質/混和物	成分/化學式	濃度	中　毒　效　應	易　燃　性	附　　　註	分　類	SDS
C-001	硫酸	H₂SO₄	> 96 %	對皮膚和眼睛會造成嚴重灼傷	濃硫酸與易燃物接觸，可能生熱而起火	遇水生熱，因此需緩慢加入水中	酸
C-002	丙酮	(CH₃)₂CO	100%	長期或皮膚接觸可能造成皮膚脫脂及皮膚炎	高度易燃遠離高熱及易燃物質	特殊甜味，似薄荷揮發性強	溶劑
C-003	異丙醇	C₂H₄OHCH₃	100%	高度易燃液體和蒸氣造成輕微皮膚刺激造成嚴重眼睛刺激	危險可燃遠離氧化劑	橡膠酒精味	溶劑
C-004	鹽酸	HCl	37%	腐蝕、刺激、引起灼傷遠離氧化劑	無	無色、刺激味	酸
C-005	過氧化氫	H₂O₂	31%	視濃度而言刺激劇烈並引起嚴重灼傷	危險強氧化劑遠離各種溶劑和易燃物	無色、刺激味	氧化劑
C-006	氫氧化鉀	KOH	45%	對眼睛和皮膚的腐蝕性極強	低腐蝕	無色無味黏稠狀液體	鹽基
C-007	金蝕刻液	錪	3 ~ 10 %	吞食或吸入會造成傷害，還會刺激皮膚、眼睛和呼吸道，過度暴露於溶液，對於眼睛、皮膚、甲狀腺、肺及肝有刺激性。	不燃腐蝕	碘蒸氣含有劇毒。	酸
		錪化鉀	10 ~ 30 %
		水	調配至100%水溶液
C-008	氫氟酸	HF	49%	1.會造成非常疼痛的深度灼傷 2.過量的濺到皮膚會造成死亡	受熱釋出有毒的氟蒸氣具腐蝕性	可用水來清洗被沾到的皮膚和眼睛趕快就醫	酸
C-009	BOE緩衝蝕刻液	氫氟酸	1~11%	皮膚接觸相當危險	不可燃但在火中會放出有毒蒸氣	可用水清洗被沾到的皮膚和眼睛	酸
		氟化銨	18~40%
		水	調配至100%水溶液
C-010	鈦蝕刻液	鹽酸	15~30%	吞時及吸入有害接觸造成嚴重皮膚灼傷	與金屬接觸會產生氫氣避免高溫	可用水清洗被沾到的皮膚和眼睛	酸
		水	70~85%
C-011	S1813光阻	乙酸-1甲氧基-2-丙基醋 /2 -methoxy-1-methylethyl acetate	70~80%	長期或重複暴露可能對器官造成傷害。可能造成困倦或暈眩。可能造成呼吸道刺激。	低	可用水清洗被沾到的皮膚和眼睛	有機
		混合的甲酚醛樹脂/ Mixed cresol novolak resin	15~25%
		重氮基光活性化合物/ Diazo Photoactive Compound	1~10%
		甲酚cresol	<0.2%
C-012	PMMA光阻	甲氧苯	80~100﹪	吞食及吸入可能有害引起皮膚及嚴重的眼睛刺激	易燃液體和蒸氣	可用水來清洗被沾到的皮膚和眼睛	有機
		2-甲基-2-丙酸甲基酯之均聚物	1~20%
C-013	MIBK/IPA 1:3 Positive Radiation Resist Developer	異丙醇	70~80﹪	吞食及吸入可能有害引起皮膚及嚴重的眼睛刺激	高度易燃液體和蒸氣	可用水來清洗被沾到的皮膚和眼睛	有機
		甲基異丁酮	20~30%
C-014	乙醇	C₂H₅OH	100%	由呼吸吸入的毒性並不很強可能有嗜睡、頭痛現象	危險遠離火花如著火物質	酒精味	溶劑

C-015	MP351顯影液	水(water)	85~95﹪	可導致眼睛嚴重損傷造成皮膚刺激可能對生育能力或對胎兒造成傷害	危險可能腐蝕金屬	可用水來清洗被沾到的皮膚和眼睛	溶劑
		氧化硼鈉(Boric acid,disodium salt,disodium tetraborate,anhydrous)	1.0~10.0﹪
		氫氧化鈉(sodium hydroxide)	1.0~5.0%
C-016	Cr-7蝕刻液	鈰酸鹽(2-), 六(硝酸根-kO)-,二銨, (OC-6-11)- 16774-21-3 8 Cerate(2-), hexakis(nitrato-kO)-,diammonium, (OC-6-11)-	8%	可能導致眼睛結膜炎，嚴重時永久性損害包括失明。呼吸急促、咳嗽、喉嚨痛。可能造成嚴重的皮膚灼傷。	氧化性物質避免接觸可燃物及熱源與金屬接觸時可能會釋放出易燃的氫氣。	橙色、淡淡的酸臭味。	酸、氧化劑
		高氯酸 7601-90-3 7 Perchloric acid	7%
C-017	硝酸	HNO₃	70%	腐蝕、刺激、引起灼傷、皮膚變黃	氧化性物質遠離可燃物及微細金屬	無色至微黃色	酸、氧化劑

C-018	鋁蝕刻液	H₃PO₄	79%	腐蝕、刺激、引起灼傷	低	刺鼻醋味	酸
		CH₃COOH	5%
		HNO3	5%
		H₂O	11%
C-019	醋酸	CH₃COOH	100%	具腐蝕性、刺激性可引起灼傷	和緩遠離對氧化物和硝酸類的氧化劑	刺激性氣味	有機酸可做為溶劑
C-020	磷酸	H₃PO₄	85%	腐蝕、刺激、引起灼傷	受熱分解釋出有毒蒸氣	無色透明而帶甜味液體	酸

C-021	氫氧化鈉	NaOH	50%	對皮膚和眼睛的腐蝕性極強與鋁、錫、鋅反應，生成氫氣	低腐蝕性強	白色顆粒無嗅	鹽基
C-022	氫氧化銨	NH₄OH	29%	刺激、腐蝕眼睛和皮膚	低隔離氧化劑	無色	鹽基
G-01	氬	Ar	99.999	鈍氣濃度過高可能造成窒息	不可燃	無色	氣
G-02	四氟化碳	CF₄	99.999	損傷皮膚，引起皮膚炎，受熱分解釋出有毒蒸氣	輕微	無色	氣
G-03	二氧化碳	CO₂	99.999	皮膚接觸可能造成凍傷	不易燃良好的滅火劑	無色、無味	氣
G-04	氫	H₂	99.999	輕微窒息	非常危險與氧接觸會爆炸成燃燒	無色、無嗅，比空氣輕	氣
G-05	氯氣	Cl₂	99.9999	腐蝕性強，對皮膚、眼睛和呼吸系統有很強的刺激性，毒性強	非常危險、不易燃但與金屬物質反應會放出可燃的氫氣	無色、刺鼻氣味	氣
G-06	氦	He	99.999	濃度太高時會窒息	不可燃	無色、無嗅，比空氣輕	氣
G-07	氮	N₂	99.999	濃度非常高時會窒息液態氮可引起凍瘡、凍傷	無	無色、無嗅	氣
G-08	六氟化硫	SF₆	99.999	濃度太高時會窒息	不可燃液態氣	無色、無嗅、無味	氣
G-09	四氯化矽	SiCl₄	99.999	造成嚴重皮膚和眼睛灼傷接觸水可能引起放熱反應	危險可能釋出腐蝕性氣體	無色到黃色液體有刺激味	氣
G-10	三氯化硼	BCl₃	99.999	吸入有毒	危險	無色發煙液體、氣體刺激味	氣

G-11	三氟甲烷	CHF₃	99.999	造成中樞神經系統抑制	避免受熱	無色、無味	氣


G-12	硫化氫	H₂S	99.999	吸入致命	危險極度易燃氣體	無色、臭蛋味	氣
G-13	甲烷	CH₄	99.999	接觸皮膚可能引起凍傷濃度高會窒息	危險極度易燃氣體	無色無味或微甜油味	氣