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核心技術團隊

*因工程師時刻處於實驗中,非經常性位於辦公室,較不方便接聽電話,若您有任何實驗上問題,請優先以E-mail方式提出您的問題,並留下聯絡方式,您將能獲得最直接的回覆。

A.  製程組

技術工程師  暨 組長

【專長】
半導體製程、乾蝕刻製程

【負責機台】
金屬蝕刻系統、打線機、反應式離子蝕刻機、感應式耦合離子電漿

【聯絡資訊】
E-mail:tzuhsin@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#208 (辦公室)

技術工程師

【專長】
電磁理論、量子力學、固態物理、半導體元件物理、
單晶,多晶,非晶矽基太陽能電池元件、薄膜表面分析

【負責機台】
共濺鍍機、1 & 2 & 3吋化學氣相沉積石墨烯設備、
電子束蒸鍍機 I&II、原子層沉積系統

【聯絡資訊】
E-mail:z10711023@email.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#257 (辦公室)

資深技術工程師

【專長】
E-Beam Lithography、Raman Spectroscopy

【負責機台】
電子束微影系統、晶圓切割機、光罩繪製/光罩製作服務

【聯絡資訊】
E-mail:yingmei@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#305 (辦公室)

技術工程師

【專長】
半導體製程

【負責機台】
雙面對準/UV光感奈米壓印機、單面光罩對準機、原子層沉積系統 Picosun (with T2)

【聯絡資訊】
E-mail:hsiuchentu@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#206 (辦公室)

技術工程師

【專長】
地質相關、 環境、奈米材料

【負責機台】
原子力顯微鏡、多功能掃描式探針顯微鏡、奈米壓痕試驗機 I & II、奈微拉伸試驗機

【聯絡資訊】
E-mail:shioujen@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#209 (辦公室)

楊士弘 先生
技術工程師

【專長】
半導體製程整合 

【負責機台】
製程整合代工服務、雙面對準/UV光罩奈米壓印機、單面光罩對準機、旋轉塗佈儀、濕蝕刻 

【聯絡資訊】
E-mail:z11110045@ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#233 (辦公室)

李佩珊 小姐
技術工程師

【專長】
半導體薄膜製程 

【負責機台】
1 & 2 吋化學氣相沉積石墨烯設備,導電膜原子層沉積系統 

【聯絡資訊】
E-mail:z11111034@ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#243 (辦公室)

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B. 檢測組

技術工程師 暨 組長

【專長】
產品材料分析
掃描式電子顯微鏡技術:表面結構觀察與成分分析
雙束型聚焦離子束DB-FIB技術:TEM試片製備、特殊圖形加工

【負責機台】
雙束型聚焦離子束儀I(DB-FIB)、X光繞射儀

【聯絡資訊】
E-mail:yenjuwang@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#226(辦公室)

資深技術工程師

【專長】
乾蝕刻技術:III-V蝕刻與光罩蝕刻
掃描式電子顯微鏡技術:表面結構觀察與成分分析
雙束型聚焦離子束DB-FIB技術:TEM試片製備、特殊圖形加工

【負責機台】
雙束型聚焦離子束儀 II (DB-FIB)、鍍金機、研磨拋光機

【聯絡資訊】
E-mail:mei0421@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#246 (辦公室)

技術工程師

【專長】
表面磊晶技術:電子束物理真空金屬鍍膜
掃描式電子顯微鏡技術:表面結構觀察與成分分析
雙束型聚焦離子束DB-FIB技術:TEM試片製備、特殊圖形加工

【負責機台】
高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡(SEM7000、SEM7001)、桌上型掃描式電子顯微鏡

【聯絡資訊】
E-mail:hiwett@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#215 (辦公室)

技術工程師

【專長】
掃描式電子顯微鏡技術:表面結構觀察與成分分析
光學檢測:穿透、吸收、反射光譜分析;官能基鑑定;
     薄膜厚度、薄膜&塊材光學常數(折射率、消光係數)分析

【負責機台】
拉曼光譜儀/顯微鏡、傅立葉轉換紅外光光譜儀、紫外光-可見光-近紅外光分光光譜儀、橢圓偏光儀

【聯絡資訊】
E-mail:ptli@ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#228(辦公室)

技術工程師

【專長】
地質及奈米材料分析。
穿透式電子顯微鏡技術:TEM明、暗視野影像,高解析影像、繞射分析及EDS/EELS 成分分析。

【負責機台】
高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡(TEM2100、TEM2010)

【聯絡資訊】
E-mail:chiayu@gs.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#248(辦公室)

技術工程師

【專長】
奈米材料合成分析 掃描式電子顯微鏡技術:表面結構觀察與成分分析
穿透式電子顯微鏡技術:一般TEM明、暗視野成像,HR、DP及成分分析

【負責機台】
高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡(TEM2100、TEM2010)

【聯絡資訊】
E-mail:yawenchuang@ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#220(辦公室)

技術工程師

【專長】
半導體檢測分析:奈米粒子及薄膜量測、光學檢測分析

【負責機台】
微拉曼及微光激發螢光光譜儀 、奈米粒子追蹤技術、奈米粒徑及介面電位量測儀

【聯絡資訊】
E-mail:ting-ting@gs.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#258(辦公室)

 

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