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光學顯微鏡 Optical Microscope

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本中心的光學顯微鏡屬於ZESIS Imager A1系列,搭配三顆Epiplan系列物鏡,規格分別為10X/0.20, 20X/0.40, 50X/0.70,其長工作距離的優勢可觀測表面形貌起伏較大的樣品,良好的景深,使其容易分辨出高低差,同時具有手動移動平台,可控制觀測位置,並裝有CCD camera,可儲存動態影片及靜態影像,搭配尺標可量測尺寸。

應用範圍:
1. 光罩網板尺寸檢查、表面瑕疵觀察。
2. 元件橫截面結構觀察。
3. 半導體製程線寬量測。
4. 多層結構堆疊錯位觀察。
5. 差排線與過蝕刻觀察。
6. 生物組織形貌觀測。
7. 活細胞內部構造隨時間變化觀測。

 費用:100元/次 (自行操作)

 諮詢窗口:劉淑白工程師

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