編按：微奈米科技研究中心四大技術團隊之一「生醫暨非破壞性分析」團隊，以光學為基礎建立前瞻奈米檢測技術，涵蓋螢光顯微鏡、光譜檢測、晶體分析、粒徑分析等檢測技術。本期主要介紹「橢圓偏光儀」，以及以下儀器，歡迎各界洽詢使用。

• 傅立葉轉換紅外光光譜儀
• 拉曼光譜儀 / 顯微鏡

光譜式橢圓偏光儀（Ellipsometer）主要利用橢圓偏振光，量測透明或半透明之薄膜。此儀器藉由量測偏極光的振幅及相位改變，搭配專屬model擬合，可得知薄膜的膜厚、折射率及消光係數等相關資訊，本中心的橢圓偏光儀可依軟體設定，自動改變入射角度，而能一次量測多個入射角，增加分析準確度，為一快速又準確的檢測工具。

⊚ 機台規格

• 型號：J. A. Woollam / M2000-DI
• 光源：190 nm~1680 nm
• 入射角：45-90^o
• 可量測膜厚範圍：5 nm至5 μm
• 試片大小：大於 1 cm*1 cm。為更好量測，建議製作2 cm*2 cm
• 基板種類：Si、Glass、Quartz、不鏽鋼
• 薄膜材料種類：有機高分子材料、金屬氧化物、氮化物、半導體材料、介電質材料、金屬材料等

⊚ 可量測項目

• 薄膜厚度
• 薄膜或基板材料的光學常數，如折射率 n 、消光係數 k 、光頻介電常數ε等
• 反射率 R 和穿透率 T
• 測量 Ψ 和相位延遲 Δ
• 研究薄膜折射率的梯度變化或各向異性
• 研究材料的表面粗糙度及膜厚不均勻度
• 研究多層材料

⊚ 代工實例

量測光阻膜厚：將光阻旋塗於Si基板上，不同轉速的光阻塗佈厚度可利用橢偏儀迅速量測出來。（參見圖二~圖五）
 

♦ 收費標準：（臺綜大師生另有優惠！）

♦諮詢窗口：劉淑白工程師

♦儀器訓練課程：「橢圓偏光儀」，每月開課，歡迎報名！