圖一：（左）JEM-2010/JEOL Co. 200 KV；（右）JEM-2100F /JEOL Co. 200 KV

本中心穿透式電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope, TEM），如上圖，除了具備一般成像及繞射功能，可以作對比極佳之高解析原子影像外，並有掃描裝置（STEM），可將電子束縮小至1 nm以下，進行高解析之掃描。明、暗場像，可進一步得到原子成分影像及原子級介面分析，而其中，彈性散射電子分佈在較大的散射角範圍內，再與STEM結合，即能得到「暗場STEM像」。

圖二：STEM-HAADF示意圖

高角度暗場像（STEM-HAADF）係利用環狀設計的影像感測器接收高角度散射之電子，過濾掉繞射對比進而呈現出元素分佈影像。對於不同材料的各金屬層，HAADF偵測器可依材料之原子序大小，呈現不同之亮度灰階，加強材料之間的對比，並搭配能量散佈能譜儀（EDS），除了作元素定點外，可作直線成分（line profile）、二維成份影像（elemental mapping）分析，並可針對原子序差異較大的元素提供進一步的檢測分析。

圖三：STEM-HAADF檢測實例

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