微機電系統技術與整合
教師：鍾震桂 分機：62111
信箱：ckchung@mail.ncku.edu.tw
課程說明：了解微機電系統技術的製程、材料與整合知識，以及在產品與應用的範疇，作為未來微奈米機電系統相關研究的一個基礎
